什么是超高真空測量單元3B-Gauge？

為了準確測量低于10-9 Pa（高真空）的壓力，需要一種高性能的測量設備，可以測量比要測量的壓力低幾個數量級的壓力。 迄今為止市場上的高真空測量裝置的測量極限約為10-10Pa，因此有必要密切關注剩余電流值。 剩余電流值僅1~2%的變化就可能導致壓力測量誤差在10-9Pa范圍內為±10%，在10-10Pa范圍內±100%以上。

但是，很難知道大多數真空設備在壓力讀數中存在較大的誤差。 此外，在測量極限附近有兩種類型的誤差：ESD（電子刺激解吸）和除氣，當誤差因測量元件靈敏度的變化而波動（軟X射線效應）和誤差因剩余電流波動而波動時。 一般來說，前者往往具有更大的影響，因此顯示的壓力比實際低-10%或-100%。 由于很難輕易產生超高真空，因此顯示低真空度可能會由于不正確的報告或判斷而導致問題，在某些情況下會導致巨大的損失。

作為此類問題的直接對策，可以通過充分利用電子技術來糾正剩余電流的校正。 然而，由于X射線限值、ESD離子、釋氣等需要廣泛而詳細的考慮，因此經常進行此類校正既耗時又不切實際。 此外，10-9 Pa 或更低的壓力測量需要測量飛安 （fA） 范圍內的極小電流，并且必須考慮電子方面的性能。

處理超高真空測量復雜問題的簡單，有效的方法是使用具有足夠低剩余電流的高性能測量設備，并且可以通過通用靜電計或現有的真空計控制器進行充分測量。

為了應對這種情況，3B-Gauge是一款具有以下革命性性能的新產品，改善了過去30年來超高真空測量中仍然存在的問題。