半導體晶片及液晶基板觀察用的 光源設備

日本yamada山田光學 高輝度鹵素光源裝置 YP-150I
是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導體晶片及液晶基板加工中最費人工的成形製品表面
的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。這款設備通常北稱為 表面檢查燈 從廣義上來說是檢查表面缺陷瑕疵等情況燈具的都是表面檢查燈。有的因為被用于不同材質表面檢查不同的情況,而被冠以不同命名。

“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測

　　最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導體加工過程中勞動強度的一種。晶圓和液晶板

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　　樣品表面的照度可超過 400,000 Lx。

　　另外，由于采用鹵素燈作為光源，色溫高，

　　光照不均勻的情況很少，光照***穩定銳利。

　　姊妹機“YP-250I"也可用于 8 英寸。